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该文阐述了AFM力传感器微机械加工的工艺,重点研究了浓硼自停止腐蚀精确控制悬臂梁厚度和探针成形及锐化等关键技术问题.在此基础上试制了AFM力传感器,并用研制的力传感器对样品进行了扫描测试,得到了较理想的AFM三维扫描图象,表明所研究的微机械加工工艺用于批量生产是可行的.
原子力显微镜力传感器微机械加工、测试技术的研究
【摘 要】
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该文阐述了AFM力传感器微机械加工的工艺,重点研究了浓硼自停止腐蚀精确控制悬臂梁厚度和探针成形及锐化等关键技术问题.在此基础上试制了AFM力传感器,并用研制的力传感器对
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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清华大学
【发表日期】
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1997年期
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