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微机电系统(MEMS)是一门多学科交叉的综合科学,MEMS动力学研究是其中的重要分支,而对原子力显微镜中针尖-样品耦合系统的非线性动力学研究非常关键。目前,对针尖-样品间作用力的研究还处于探索阶段,且针尖-样品间的作用力也没有固定的表达式,因此,针对上述问题,本文的主要研究内容及成果如下:(1)针对原子力显微镜中探针-样品系统间力学特性的复杂性,本文采用数值模拟方法,以分子动力学为主要工具,建立了针尖-样品系统的分子动力学模型,采用混合势模拟了针尖靠近样品过程中的相互作用力,得到了力-距离曲线及力-