【摘 要】
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钙钛矿型氧化物薄膜具有丰富的性能，如压电、铁电、介电、庞磁电阻效应等，可应用于铁电随机存储器、传感器、红外探测器、光波导器件等众多领域。然而，获得具有实用价值的高质量
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钙钛矿型氧化物薄膜具有丰富的性能，如压电、铁电、介电、庞磁电阻效应等，可应用于铁电随机存储器、传感器、红外探测器、光波导器件等众多领域。然而，获得具有实用价值的高质量钙钛矿型氧化物薄膜还需解决诸多问题，如薄膜结晶形态与取向控制，薄膜微结构与其性能的本质联系，薄膜硅基集成化等。本论文围绕钙钛矿型氧化物薄膜的结晶生长过程与相关物理性能开展了以下研究工作：
1.以硅衬底上生长的MgO和SrTiO3外延薄膜作为缓冲层，系统研究了生长条件和缓冲层种类对La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜结晶取向、生长模式、表面形貌、应力弛豫以及电学性能的影响规律，并详细讨论了结晶取向、生长模式、表面形貌、应力弛豫与电学性能之间的相互关联。在优化的条件下，成功地在硅衬底上制备出具有优异结晶质量和电学性能的LSCO外延薄膜。
2.对比研究了硅衬底上各种外延底电极对Pb(Mg1/3Nb2/3)1-xTixO3(PMN-PT)弛豫铁电薄膜结晶生长与电学性能的影响。研究表明，在LSCO外延底电极上生长的PMN-PT薄膜为纯钙钛矿相结构且具有单一c轴取向特征，其铁电、介电性能与氧化物单晶衬底上生长的PMN-PT薄膜接近。
3.对钙钛矿型强电子关联薄膜具有的新奇物理现象进行了探索研究。重点研究了La0.7Sr0.3MnO3(LSMO)薄膜在各种底电极上的结晶生长行为，电场诱发巨电阻转变效应与其内在物理机制，以及应变对LSMO薄膜电输运机制和庞磁电阻效应的影响规律。
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