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该论文分析了球面干涉仪的工作原理及其误差产生的原因,然后采用Zernike多项式拟合球面干涉仪产生的干涉条纹,在此基础上,一方面详细分析了采用二元光学位相板修正球面干涉仪的理论、设计和制作,另一方面,阐述了计算机图像处理技术修正干涉仪系统误差和检测球面镜的方法,最后得到了满意的结果.
利用二元光学位相板和计算机修正干涉仪误差以及球面镜面形的检测
【摘 要】
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该论文分析了球面干涉仪的工作原理及其误差产生的原因,然后采用Zernike多项式拟合球面干涉仪产生的干涉条纹,在此基础上,一方面详细分析了采用二元光学位相板修正球面干涉仪
【机 构】
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北京工业大学
【出 处】
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北京工业大学
【发表日期】
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1996年期
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