【摘 要】
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该文作了如下研究工作：首先,确定了系统的总体设计方案.设计并调试了光电传感器的光路系统、光电探测器I/V转换及预处理电路、高精度A／D转换电路、单片机处理、显示等外围电路
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该文作了如下研究工作：首先,确定了系统的总体设计方案.设计并调试了光电传感器的光路系统、光电探测器I/V转换及预处理电路、高精度A／D转换电路、单片机处理、显示等外围电路系统.采用了能有效提高系统性能的多种抗干扰措施.最后,对整体系统进行实验验证.使用HP5528双频激光干涉仪对研制的传感器系统进行标定.使用标定后的传感器系统进行实验测量,并对测量数据进行分析处理,给出了传感器的各项性能参数.实验证明,所研制的传感器完全能达到该课题的设计要求.随着研究工作的深入,发现尚需在以下方面进行更深入的研究：传感器具有测试精度高的优点,但是测试范围小.可以采用动态测量以保持在较高精度的基础上增大测试范围.
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