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脉冲激光沉积(PLD)技术是八十年代末兴起的薄膜制备技术,它在制备以钙钛矿结构为代表的多元氧化物薄膜及其异质结方面显示出巨大的优势,它还被用来制备氮化物、碳化物以及硫化物等非氧化物薄膜,在制备某些常规条件下有效而又简便,甚至商业化的制膜技术.该论文的目的是研究PLD技术的机制及PLD使用的陶恣靶的制备.