【摘 要】
：
随着技术的进步和需求的增加,高质量薄膜材料的制备技术有了很大的发展。其中,在宽禁带半导体材料中,AlGaN材料因为其高频率、大功率、耐高温、化学稳定性好及可以在强辐射环
论文部分内容阅读
随着技术的进步和需求的增加,高质量薄膜材料的制备技术有了很大的发展。其中,在宽禁带半导体材料中,AlGaN材料因为其高频率、大功率、耐高温、化学稳定性好及可以在强辐射环境中工作等特点的受到了人们越来越多的关注。然而,高质量的A1N薄膜制作非常困难,特别是缺乏合适的衬底材料以及由此引起的高缺陷密度。本文主要研究A1N薄膜制备中的氮化问题,通过优化氮化条件为生长高质量的AlGaN基LED材料奠定基础。本文采用动力学外延生长模拟,结合动力学蒙塔卡洛方法(KMC)和分子动力学方法(MD)对表面的氮化过程和界面的渗氮现象进行模拟和分析。在动力学蒙塔卡洛方法模拟过程中,利用Morse势描述原子团之间的相互作用情况以及表面的氮化过程,分析生长中产生的精细结构,并且通过统计所有表面原子的状态来确定表面的性质。利用动力学蒙塔卡洛方法,模拟研究了不同外延温度下的表面氮化情况,借此分析总结表面氮化的相关机理。利用分子动力学方法,模拟研究了界面处的渗氮现象,根据动态过程,进而分析氮化和过度氮化的相关机理,确定了合理的氮化条件。此外,为了验证仿真模拟方法的可行性,本文利用MBE设备对c面蓝宝石衬底进行氮化,通过RHEED观察与分析氮化过程,对实验现象和理论研究的结论进行比对。分析表明较低的温度虽然可以较好地控制氮化反应的发展,但是当温度低于400K时,相应的反应时间过长,效率较低,不利于节约实验成本。在650K下反应15分钟是较为理想的选择,其反应时间适中,而且易于形成良好的氮化层,为后期的生长提供良好的基础。
其他文献
随着我国社会主义事业的蓬勃发展和城镇化速度的不断加快,我国固定资产投资速度和规模也空前增大,建设项目在人类社会和经济发展过程中扮演着越来越重要的角色。它在极大改善
随着全球经济一体化进程的加快,企业之间的竞争越来越激烈,人力资源正在成为企业生存和发展的关键战略性资源。谁能吸引并使用好人才,谁就拥有市场竞争的主动权,就具备强大的
采用观察统计法对昆明暴恐事件中发布相关信息的公安政务微信账号进行了地域分布分析和行政层级分析;通过内容分析法从信息发布时间、信息来源、信息类型三个方面进行了实证
复杂性科学是一种“学科互涉”的新兴科学研究形态,它以复杂性系统为研究对象,以超越还原论为方法论特征,以揭示和解释复杂系统运行规律为主要任务,以提高人们认识世界、探究
传统的毫米波辐射计系统受天线物理孔径的限制导致空间分辨率低,阻碍了毫米波辐射计实际应用的推广。综合孔径毫米波辐射计采用稀疏的小孔径天线阵列合成等效为大的实孔径天
在60Co的γ-射线辐照下,瓜尔胶与甲基丙烯酸(MAA)接枝共聚反应,合成的共聚物可在石油工业作增稠剂。本文研究了瓜尔胶与MAA配比、辐照剂量、pH值对接枝率的影响,用傅立叶红外
在工业控制、高压测量及医疗设备等应用领域中，出于安全和可靠性，需要在被测对象与监控设备之间采用隔离方式来实现信号传输。隔离器是一种输入部分和输出部分在电气上绝缘而间
背景和目的脑血管病是严重危害人类生命健康、致死率及致残率高的主要疾病,其中缺血性脑血管病约占70%左右。近年来,随着缺血性脑血管病发病机制研究的日益深入,其治疗方面已
ZnO薄膜在c轴方向具有较低有效介电常数、较高机电耦合系数，但是声表面波波速较低；AlN薄膜虽然具有较高的声表面波速，但是介电常数和机电耦合系数均低于ZnO薄膜。为了使ZnO和AlN
<正> 三极管不仅可以作放大器,而且可以作各种振荡器。互补多谐振荡器由于电路简单,所用元器件少,所以应用很广泛,经常在各种报警器及讯响器电路中使用。一、典型的互补多谐