【摘 要】
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近年来,薄膜/基底结构被广泛应用于微电子、生物、航天等领域,有效地实现了系统的微型化和信息化。然而膜/基结构在外载作用下易出现薄膜屈曲、断裂、脱粘等失效形式,从而影响到器件及系统的性能。因此,对膜/基结构的力学性能和界面性能的研究具有重要的意义。本文将结合原子力显微镜悬臂梁探针的微纳力加载和显微干涉形貌测量,对膜/基结构的屈曲形貌、力学性能与界面性能展开研究。论文的主要工作如下:1.设计并搭建了基
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近年来,薄膜/基底结构被广泛应用于微电子、生物、航天等领域,有效地实现了系统的微型化和信息化。然而膜/基结构在外载作用下易出现薄膜屈曲、断裂、脱粘等失效形式,从而影响到器件及系统的性能。因此,对膜/基结构的力学性能和界面性能的研究具有重要的意义。本文将结合原子力显微镜悬臂梁探针的微纳力加载和显微干涉形貌测量,对膜/基结构的屈曲形貌、力学性能与界面性能展开研究。论文的主要工作如下:1.设计并搭建了基于AFM的微纳力学测试系统,该系统主要包含了AFM微力加载模块和显微干涉模块,同步实现了微纳力加载与样品
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热电材料是一种能够实现热能和电能相互转换的绿色环保型功能材料,具有广阔的应用前景。近年来,相关研究表明将热电材料进行复合和低维化有利于其热电性能的提高。通过把具有低热导率的有机材料与良好电性能的无机材料进行复合,有望保持材料低热导率的同时又不影响其电学性能。Sb_2Te_3是目前室温附近性能最好且研究较为成熟的热电材料之一,其具有较大的Seebeck系数、适中的电导率和较低的热导率。甲胺碘(CH3
膀胱脱垂是一种常见的女性疾病,准确的膀胱脱垂分级结果对于后续治疗至关重要。近年来,盆底超声(Pelvic floor ultrasound,PFUS)作为一种新型技术应用到膀胱脱垂疾病的诊断当中。在临床上,医生需要先采集患者做Valsalva动作时的超声视频,然后测量视频中膀胱(Bladder,BL)至耻骨联合(Symphysis pubis,SP)参考线的最大距离(Maximal descent
高功率脉冲磁控溅射技术(HPPMS)制备的氮化钛(TiN)薄膜具有硬度高、薄膜致密、膜基结合强等一系列优异性能,但却存在残余应力大、沉积速率低、薄膜韧性差这三点不足,限制了其应用的范围。为了降低HPPMS制备氮化钛(TiN)薄膜的内应力、提高沉积速率及薄膜韧性,本文设计通过控制溅射气压调控离子能量,降低薄膜内应力;通过调整溅射靶磁场提高到达基片的靶材粒子数目,提高薄膜沉积速率;进一步利用TiN多层
现代城市的楼宇建筑中,为了美观和提高采光率,玻璃门窗及幕墙占用面积不断提高。为了避免普通玻璃节能性差、耗能严重的问题,使用节能镀膜玻璃成为现代玻璃大厦最常见的节能措施,其中最常见的为Low-e镀膜玻璃。然而Low-e镀膜玻璃对太阳光谱的调节是固定的,其节能效果也是有限的。由于VO_2薄膜高低温相变前后对红外光透射率的突变性质,且其相变温度在室温附近,成为近年来人们冬暖夏凉“梦之窗”的研究热点。本论
二氧化钒是一种具有多种晶体结构的二元化合物,其晶体结构主要有:单斜晶系的M相、D相、B相;三斜晶系的T相;金红石结构的R相;以及四方晶系的A相。VO_2在68℃附近会呈现出金属-绝缘体的相变(MIT),由低温单斜晶体结构的M相变为高温金红石结构的R相,而且不同的工艺制备条件对二氧化钒的相变性能影响较大。目前基于二氧化钒在各领域应用的论文多如雨后春笋,因此本文对二氧化钒薄膜功能薄膜的相变过程进行研究
以铜、银等纳米材料为代表的抗菌材料以其高效的抗菌性能,在生活中有广泛的应用潜力,也成为当代科研的热点。与此同时,具有防污,自清洁的疏水材料也是目前人们追求的潮流,因此本文基于聚合物的疏水特性,再结合纳米银、铜颗粒的高效抗菌性能,采用低功率电子束蒸发法(EBD),制备既具有疏水性能,又具有高效抗菌性能的多功能复合膜材料。主要研究内容如下:采用低功率电子束蒸发法,分别选用乙酸铜粉末、聚乙烯粉末为原材料
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基于阻抗匹配减反射(impedance matching anti-reflection,IMAR)技术有望克服传统干涉型减反射膜技术受入射波长、入射角度影响的弊端,实现理想减反射。但要实现完美阻抗匹配减反,薄膜的折射率受薄膜深度和波长同时调控,并且薄膜材料的折射率在满足强色散的同时还需具有反常色散特性,即材料折射率随波长增加而增加。而自然界中具有反常色散特性的材料非常罕见,也缺乏具有强色散特性的