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轴承被称为“机械关节”,随着机械、电子,尤其是航空航天和精密机械制造技术的快速发展和产品精度的提高,其加工精度和质量也随之提高。薄壁轴承是轴承尺寸系列中壁厚最薄的一种,常用在需要精确控制或者旋转轴拆卸位置苛刻的地方,其检测精度的要求也极高。为满足轴承套圈外轮廓的检测需求,通过对比分析现有检测方法及未来检测发展趋势,着重研究了光透过式检测方法测量的原理,并采用该方法拟定测量方案,对测量仪的组成及结构进行了研究,并对其中关键部件进行选型,搭建测量仪;对测量仪各子系统间通讯形式进行分析研究,对测量数据的滤波处理进行理论研究,在此基础上对套圈轮廓进行测量实验,最终对实验数据进行分析并验证方案的可行性。对光透过式方法三维轮廓测量原理进行了深入分析及研究。对薄壁轴承套圈待检测参数及技术特点的分析,研究了光透过式和光栅测量的原理、亚像素定位算法,得出测量点在CCD上投影信息;对测头组件的光源类型、照明方式及检测光路进行了对比分析,设计了两组光透过式测头均采用LED固体光源进行背面照射进行测量的方案。通过测量方法的分析和构件结构原理研究,搭建了专用薄壁套圈轮廓检测平台,系统检测工作台采用旋转气场在套圈内表面形成的压力差进行定位,确保套圈位于测头有效检测范围内,带动测头上下移动的平移台采用步进电机驱动,平移台由高精密滚珠螺杆与高精密线性滑块导轨相结合,保证了测头扫描时高度方向上的平稳、精确地定位。研究了光学测头组件的标定技术、计算机与光学测头组件及电机运动控制器间的通信原理,在对测量系统数据采集过程中出现的噪声做出分析后,采用有限冲击响应(FIR)滤波器对信号进行滤波处理。进行薄壁轴承套圈测量实验,根据实验数据进行对比分析,验证检测仪设计的可行性。对检测仪可能产生的主要误差及来源进行分析,基于误差理论分析,提出了对本系统的几种改进和完善措施用以提高检测精度。