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在硅基薄膜太阳电池中,高效的陷光结构对于其性能的提高是至关重要的。良好的陷光结构不仅可以增加光的散射,延长光的光程,使得太阳电池转换效率得到提升,还可明显减少入射光的干涉现象,增加太阳电池对太阳光的吸收。三维的纳米陷光结构有望在降低有源层厚度的条件下,获得宽谱域、宽入射角范围的良好光子吸收性能,同时具有重复性好便于模拟和改变结构等优点,因此高质量的三维纳米结构前电极对电池性能的改善具有重要意义。为研究不同类型的适合薄膜太阳能电池的三维结构陷光前电极,本文对三维多孔阵列和圆屋顶阵列结构前电极的制备方法