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【摘 要】
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硅碳氮(SiCN)是一种新型的宽带隙半导体材料,光学特性优良,在光电子器件领域具有非常广阔的应用前景。不同Si、C、N元素含量的SiCN薄膜的带隙在2.86-5.00 eV范围内连续可调,
【出 处】
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西北大学
【发表日期】
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2010年期
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