【摘 要】
：
本文采用电子束反应蒸发法,选用自制的掺WO_3的In_2O_3陶瓷靶材,制备IWO(In_2O_3:WO_3)透明导电氧化物薄膜。研究WO_3掺杂浓度、衬底温度、氧流量、薄膜厚度、退火处理、SiO_2和Al_2O_3阻挡层以及梯度速率等因素对IWO薄膜结构特性、光学特性和电学特性的影响。在WO_3掺杂浓度为0.35%、衬底温度为350℃、氧流量为35sccm、薄膜厚度为800?(实测为120nm)
论文部分内容阅读
本文采用电子束反应蒸发法,选用自制的掺WO_3的In_2O_3陶瓷靶材,制备IWO(In_2O_3:WO_3)透明导电氧化物薄膜。研究WO_3掺杂浓度、衬底温度、氧流量、薄膜厚度、退火处理、SiO_2和Al_2O_3阻挡层以及梯度速率等因素对IWO薄膜结构特性、光学特性和电学特性的影响。在WO_3掺杂浓度为0.35%、衬底温度为350℃、氧流量为35sccm、薄膜厚度为800?(实测为120nm)条件下制备的IWO薄膜的载流子迁移率μ为47.9cm2V-1s-1,载流子浓度n为2.66×10
其他文献
自从光子晶体的概念被提出后，其发展越来越受到人们的关注，根本原因在于光子的传输速度比电子更快，而光子晶体可以控制光子的传输，因此如果以光子晶体结构来代替半导体元器件，那么
目的:该研究建立小脑颗粒细胞体外模拟缺血再灌注(imitative ischemia-reperfusion,ⅡR)模型研究神经元凋亡的途径和褪黑素(melatonin,MT)抗凋亡的作用机理,为临床治疗提供理
近年来,准一维半导体纳米结构(如纳米线、纳米带和纳米管等)的控制合成与光电子器件应用引起了人们的极大关注。它们具有单晶的晶体质量,以及优良的光电特性,既可以用于研究
地衣型真菌是由共生菌(mycobiont)和藻类(photobiont)形成的一类共生生物。本文对管涔山地区的壳假网衣及其共生藻进行了研究,包括形态学特征和分子系统发育等方面。此外,对
疝气是指人体腹部内的组织或器官一部分离开了原来的部位,通过腹壁间隙、缺损或薄弱部位进入另一部位,引起患者出现疼痛症状,部分患者出现腹沟股或阴囊部肿块,若不及时治疗,
目的:分析神经内科重症患者PICC置管后的问题及护理措施.方法:本研究选取我院神经内科2018年8月至2019年7月期间接受PICC治疗的72例患者作为比较研究对象,并对所选择的病例进
目的:探究老年群体高血压的用药及护理.方法:选取本院2016年6月~2017年6月收治的老年高血压患者100例,随机划分为试验组与对照组各50例.对照组实施常规护理,试验组以常规护理
复合真空计是用于测量真空度的工具之一，其性能指标将直接影响科研、生产任务的完成质量。随着科学技术的发展，进一步提高真空计测量指标与数字化程度，具有一定的研究意义和实用
在中西文化的碰撞融合下,陶艺设计走出了传统守旧的迷茫,却也面临本土文化精神的迷失。深入探研传统绘画意象审美的民族特质与文化内涵,并应用于陶瓷绘画教学,是文化多元时代
目的:探讨泌尿外科患者尿路感染原因及护理对策.方法:选取2018年4月—2019年6月期间74例泌尿外科患者作为研究对象,采用随机数字表法,将研究对象划分A组(n=37,常规护理)和B组