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随着超精密加工技术的发展,对超精密检测技术的要求也越来越高,白光显微干涉技术作为新兴的无损、快速、高精度的测量方法在几何量测试等相关领域得到越来越广泛的应用。新兴微纳器件特定的生长和工作环境—液体或真空,使得测量需透过透明介质以检测器件的静态属性和动态行为,而透明介质的引入对测量造成阻碍。针对上述问题,搭建Linnik型白光显微干涉测量系统,在参考端进行补偿,实现透过透明介质测量表面形貌和薄膜厚度。本文的主要工作如下:1.针对目前透过透明介质测量的现状,搭建Linnik型白光显微干涉测量系统。2.由