【摘 要】
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近几十年来，光电探测器在光通信、国防探测、信号处理、传感系统和测量系统等高精尖科技领域，得到了广泛的应用，在这个以信息为导向的时代，时间就是生命。人们对于提高传输速率的
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近几十年来，光电探测器在光通信、国防探测、信号处理、传感系统和测量系统等高精尖科技领域，得到了广泛的应用，在这个以信息为导向的时代，时间就是生命。人们对于提高传输速率的需求日益紧迫，促使高速光电探测器的研制，从它诞生的那一刻起就没有停止过。本文对光电探测器的工作原理以及其制造工艺进行了研究，根据各项工艺技术的特点，以及实际制作过程中的需要，设计了高速光电探测器的制作工艺流程，并在实际的制作过程中进行了验证。对于在制作过程中出现的问题进行了分析，并解决了问题，同时优化了工艺参数。在设计与改造高速光电探测器管芯测试台后，应用该测试台对制作完成的芯片进行测试，测试结果表明：该高速光电探测器芯片基本达到设计要求。本论文第一章首先提出了研制高速光电探测器芯片的必要性，对光电探测器进行了简要的介绍，并对国内外高速光电探测器的现状与发展趋势进行了分析；第二章详细介绍了光电探测器的工作原理，并对衡量光电探测器性能的技术参数进行了介绍，对影响各项参数的因素进行了分析，并提出来一定的改进方案；第三章详细介绍了光电探测器芯片制作工艺中涉及到的各项工艺技术，对各项工艺的工作原理进行了分析，并对各项工艺的优缺点进行了分析；第四章给出了高速光电探测器的芯片结构，结合各项制作工艺的特点，详细设计了该型号芯片的制作工艺；第五章，详细介绍了在实际制作过程中出现的问题，分析并解决了问题，优化了工艺参数。在芯片制作完成后，对芯片进行测试，在对测试结果进行分析后，确认该型号芯片基本达到设计需求；第六章对全文进行了总结。
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