【摘 要】
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该论文着重研究了半透明Au膜/ (纳米半导体/纳米SiO)多层膜/Si结构的电致发光及其特性,其中的纳米半导体/纳米SiO多膜有如下几种:Si/SiO超晶格,Ge/SiO超晶格,GaAs/SiO超晶格
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该论文着重研究了半透明Au膜/ (纳米半导体/纳米SiO<,2>)多层膜/Si结构的电致发光及其特性,其中的纳米半导体/纳米SiO<,2>多膜有如下几种:Si/SiO<,2>超晶格,Ge/SiO<,2>超晶格,GaAs/SiO<,2>超晶格和SiO<,2>/Si/SiO<,2>双势垒; 并对它们的电致发光的机制进行了较为系统的研究; 还研究了富硅SiO<,2>薄膜中的Si在高温退火下的偏析和晶化过程.
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