【摘 要】
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该文立足于声表面波高频谐振器的实用设计和批量生产要求,对ST34°石英上表面横波(STW)金属栅阵反射特性、STW单端对谐振器、STW双端对谐振器进行了试验研究. 文章首先对ST34
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该文立足于声表面波高频谐振器的实用设计和批量生产要求,对ST34°石英上表面横波(STW)金属栅阵反射特性、STW单端对谐振器、STW双端对谐振器进行了试验研究. 文章首先对ST34°切石英上SAW与STW金属栅阵的反射特性进行了比较试验,列出了两者间的主要区别和相同之处,揭示了STW金属栅阵的基本特性,为石英上STW高频谐振器的设计与开发提供了指导.该文立足于批量生产要求,利用高声速模式开发了STW高频谐振器,使器件条宽得以有效放大,减轻了批量生产的压力,具有非常大的实用价值和巨大的经济效益.
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