论文部分内容阅读
要实现约束刻蚀层超微加工技术,就需要多学科多种工艺综合协作.但是首先要从化学角度寻找适应的刻蚀剂及其产生方法,对该项新技术所需刻蚀剂的产生、检测及控制进行系统的研究,为该项技术的实现提供化学方面的论据和工艺上的准备.该文拟基于田昭武提出的约束刻蚀剂层技术(CELT)开展下面的一些研究工作.1、用电化学方法分别测量了在温度范围19至69℃时亚砷酸捕捉邻菲绕啉铁和溴的反应速率常数.另外也分别对在酸性溶液中亚砷酸捕捉铁吡啶反应和在碱性溶液中氨基比林捕捉铁氰化钾反应进行了研究;2.建立了用于检测光生中间物的流动检测系统和光电化学旋转盘环电极检测系统;3.为了研制产生光生刻蚀剂的模板,利用SEM、XRD和光电化学等方法对三种不同方法制备的二氧化钛薄膜进行了研究.