【摘 要】
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由于微等离子体氧化工艺的特殊性,传统的脉冲电源无法满足微等离子体氧化工艺的需要.为此,设计了全新的主电路拓扑,利用现阶段在市场上可以买到的开关器件,实现了输出高压双
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由于微等离子体氧化工艺的特殊性,传统的脉冲电源无法满足微等离子体氧化工艺的需要.为此,设计了全新的主电路拓扑,利用现阶段在市场上可以买到的开关器件,实现了输出高压双向不对称脉冲的目的.仿真结果和实际工艺实验都表明,根据新拓扑设计的主电路能够满足微等离子体氧化工艺对所用电源的要求.根据微等离子体氧化工艺的特殊要求,需要电源输出特种正弦波形.在分析现有逆变电路基础上,选择了合适的主电路拓扑并设计了全新的控制策略,仿真证明这种主电路可以提供微等离于体氧化所需要的特种正弦波形.针对新的主电路拓扑以及输出多种波形的需要,设计了控制方案及相应的控制系统,在这种控制方案下修改参数非常容易,极大的方便了工艺实验.工艺实验证明,系统工作稳定,并可有效的控制主电路的输出.实际运行结果表明,电源运行平稳,实现了双向脉冲的幅值、频率、占空比等重要参数的独立调节,可以满足微等离子体氧化工艺的要求,具有广阔的推广、应用前景.
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