大口径非球面检测设备关键光学元件支撑优化设计

来源 :中国科学院大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：scarllie

【作者】

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【机构】

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中国科学院大学

【出处】

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中国科学院大学

【发表日期】

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2017年期

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