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由高反射、高电导的金属材料和透明导电材料构成的透反射式高电导复合薄膜，因为具有独特的光学和电学性质，对该复合体系开展研究具有重要的理论意义和实用价值。在液晶显示领域将其作为LCD显示器件的下电极材料，开发出新型透反射式技术已成为现代LCD显示领域中一项不可或缺的技术。本文制备了透反射式高电导Ag-ITO系列复合薄膜，从实验上和理论上重点研究了薄膜的光电特性与薄膜组分及微结构之间的关系，并建立了用效能因子和分光比共同评价新型透反射式高电导复合薄膜综合品质因素的体系。研究目的在于探索新的、结构性能优异的透反射式高电导光电功能薄膜材料，推进Ag-ITO复合薄膜在新型透反射式LCD显示技术中的应用。本文主要研究内容如下：1．在透反射式高电导Ag-ITO复合薄膜体系的设计和光电特性的表征中，会涉及到Ag组分处于低维状态时的微结构和光电特性。所以，专门用直流溅射技术制备了不同厚度的Ag膜，并用X射线衍射，表面轮廓仪，紫外-可见光分光光度计和四探针测试仪对不同厚度Ag膜的微结构、膜厚以及光电特性特进行了研究。2．用X射线衍射、X射线光电子能谱、表面轮廓仪，紫外-可见光分光光度计和四探针测试仪研究了热处理前后直流溅射ITO薄膜的微结构、化学组分、膜厚以及光电特性特。3．探索了用直流磁控溅射制备透反射式高电导Ag-ITO复合薄膜的方法，制备了不同Ag膜膜厚的Ag-ITO复合薄膜。X射线衍射分析表明，Ag-ITO复合薄膜中，ITO保持In2O3体心立方的晶体结构不变；随着Ag膜厚度的增加，ITO（222）衍射峰强度逐渐增加，（400）衍射峰强度总体呈下降趋势；Ag仅出现了衍射角为38°左右的（111）衍射峰。4．用紫外-可见光分光光度计和四探针测试仪研究了复合薄膜的光电特性。研究结果表明，Ag膜的微结构和厚度对复合薄膜的光电行为有着重要的影响。随着Ag膜厚度的增加，Ag从颗粒膜状态向连续膜状态过渡；Ag-ITO薄膜在可见光范围内的平均透射率和反射率逐渐增大，对可见光的吸收呈逐渐降低趋势；Ag-ITO复合薄膜电阻率呈下降趋势，导电性能增强。特别注意到，当Ag膜厚度为12．5nm时，Ag-ITO复合薄膜的电阻率比单层ITO薄膜的电阻率下降了一个数量级。用多光束透反射和并联电阻理论模型对透反射式高电导Ag-ITO复合薄膜独特的光电行为做出了定性的解释。5．提出透反射式高电导薄膜效能因子和分光比的概念，并以此为基础，建立评价Ag-ITO复合薄膜以及一类透反射式导电薄膜品质因素的普适评价标准。本文的创新点为：◆率先提出采用具有高反射和高电导的金属材料Ag和透明导电材料ITO以纳米形式复合，形成新型的透反射式高电导Ag-ITO复合薄膜，并通过控制Ag的复合量来控制复合薄膜的光透反射性能和导电性能。并提出将复合薄膜作为LCD下电极材料，研制开发新型的透反射式LCD显示器件。◆提出基于透射光谱，利用椭偏解谱软件FilmWizard和非线性回归分析软件1stOpt，以多光束透反射模型拟合得到薄膜厚度和光学常数的新方法。◆首次提出透反射式导电薄膜的效能因子和分光比概念，建立用效能因子和分光比来共同评价Ag-ITO复合薄膜品质因素的标准，并将其应用于一类透反射式导电薄膜综合品质因素的普适评价。