亚波长光栅耦合波理论的研究及其抗反膜与起偏器的设计

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【摘要】

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该文从亚波长结构衍射体的电磁场理论出发,首先讨论一维亚波长(深亚波长)光栅的耦合波分析(RCWA)理论,分别计算了一维亚波长光栅的TE波、TM波衍射和锥形衍射的衍射效率.同时

【作者】

：

袁惠

【机构】

：

南京大学

【出处】

：

南京大学

【发表日期】

：

2001年期

【关键词】

：

亚波长光栅深亚长波长光栅耦合波分析数值稳定性抗反射偏振特性

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该文从亚波长结构衍射体的电磁场理论出发,首先讨论一维亚波长(深亚波长)光栅的耦合波分析(RCWA)理论,分别计算了一维亚波长光栅的TE波、TM波衍射和锥形衍射的衍射效率.同时分析了(受到计算机计算精度的限制)耦合波理论在数值计算中出现数值溢出的可能性,针对此提出了一种提高耦合波分析数值稳定性的算法,并对其进行了数值验证.

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