【摘 要】
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通过对传统磁通门传感器的结构、原理的分析研究,结合目前国内外微型磁通门传感器研究的现状和所具备的实验条件,分析了磁通门探头各结构参数对磁通门性能的影响,设计了21种
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通过对传统磁通门传感器的结构、原理的分析研究,结合目前国内外微型磁通门传感器研究的现状和所具备的实验条件,分析了磁通门探头各结构参数对磁通门性能的影响,设计了21种结构参数的微型磁通门传感器探头和光刻掩模版,利用微电子器件加工技术制作出具有三维结构的微型磁通门探头.其中,磁芯是FeNi合金薄膜,采用真空蒸镀方法获得,厚度大约为1微米;励磁线圈和检测线圈为金属铝,主要采用电子束蒸发的方法制作,厚度大约为3微米左右;各层金属之间的绝缘采用聚酰亚胺薄膜.该文根据微型磁通门自身的特点,利用二次谐波法检测磁通门信号的原理和方法,设计了磁通门传感器的励磁电路和检测电路,并对电路的性能进行了调试.我们利用厚膜混合集成电路（HIC）技术完成了微型磁通门传感器组件的结构和加工工艺的设计工作,该组件可以将微型磁通门探头及其接口电路集成在金属管壳中,成为面积为29×45.5mm<2>的一个器件.
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