以硅带为衬底低温制备多晶硅薄膜的研究

被引量 : 4次 | 上传用户：fang0998_cn

【摘要】

：

依据多晶硅薄膜太阳能电池具有高性能、低成本的特点，廉价衬底材料成为产业化的关键。我们以廉价的颗粒硅带SSP(Silicon Sheets from Powder)为衬底，探索研究制备多晶硅薄膜的工艺技术。实验结果显示，等离子体化学气相沉积PECVD(Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition)法沉积的薄膜一般处于非晶状态，通过固相再结晶法伴随有杂质扩散污染，很

【作者】

：

邱春文

【机构】

：

汕头大学

【发表日期】

：

2003年01期

【关键词】

：

多晶硅带多晶硅薄膜 PECVD 金属诱导结晶

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