【摘 要】
：
磁性器件的集成是推进电子系统小型化的重要途径之一,同时有效的磁集成技术可以降低磁性器件的损耗,提高电子系统整机效率。将薄膜制备技术、MEMS工艺技术和磁集成技术结合在
论文部分内容阅读
磁性器件的集成是推进电子系统小型化的重要途径之一,同时有效的磁集成技术可以降低磁性器件的损耗,提高电子系统整机效率。将薄膜制备技术、MEMS工艺技术和磁集成技术结合在一起制备集成磁件是磁性器件未来发展的必由之路。本文深入系统地研究了基于交错并联Buck变换器的薄膜阵列式集成磁件结构方案,并利用有限元分析软件进行了优化分析,为低损耗集成磁件的设计提供了技术支持;研究了采用真空磁控溅射技术制备的FeCuNbSiB和FeCoV磁性薄膜样品,制备的薄膜样品采用X射线衍射仪(XRD)观察了晶体结构,用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)观察沉积后的薄膜的断面结构和表面形态,采用X射线能量色散谱(EDX)分析样品的成份,采用VSM测试样品的静态磁性能,测试结果表明FeCuNbSiB薄膜的各项指标要优于FeCoV薄膜;利用MEMS技术和磁控溅射技术制备了FeCuNbSiB薄膜的一种阵列式集成磁件,给出了制备工艺流程,为其他方案的磁性器件制备提供了技术支持。
其他文献
近年来，长阳县职业教育立足山区农村实际，坚持“就业有技能、升学有途径、发展有基础”的培养目标，高举服务地方经济发展旗帜，着力职教特色办学，促进了各类教育事业的均衡协调发展
由于地层吸收等因素,地震波在地下传播时能量有所损耗。针对反射地震信号能量耗散现象,论文对地震信号能量补偿方法进行了研究。本文给出的多尺度能量补偿方法首先对地震信号
日益枯竭的石油资源和环境污染的大背景下使得电动汽车进入了快速发展时期,锂离子电池以它在能量、体积、寿命、环保等各方面都具有无可比拟的优势成为电动汽车能源的宠儿。但是锂离子电池的成本、循环寿命、使用安全等问题制约着锂离子电池的广泛使用。本文针对这一问题设计了锂离子电池能量管理系统,该系统能实时监视电池组工作状态,并且能实时显示电池工作中的部分参数(电压、电流、温度、荷电状态),方便操作人员随时了解电
一、引言外部性是指一个行为主体的经济活动对另一个行为主体所产生的“非市场性”的附带影响。按照兰德尔的定义:外部性是用来表示当一个行动的某些效益或成本不在决策
I.
计算机技术的快速发展,使CAD/CAM技术成为设计人员研究和开发的重要工具。其中,三维造型技术已经广泛地应用于产品的设计、模具的制造、自动化加工等各个方面。在产品的设计
随着锂离子电池技术水平的迅速提高，其应用领域越来越宽，在消费者享受锂离子电池给生活带来便捷的同时，却也承受着锂离子电池着火、爆炸带来的恐慌。其安全性一防爆功能也急需得
画像石图像艺术在对文化以及社会环境的借鉴中,形成了自己独特的艺术形式。在其背后,也蕴含着民众的心理需求和精神寄托。本文通过对武梁祠画像石的图像分析,与我们现代的插
浅埋傍山隧道是隧道建设过程中常见的偏压隧道，围岩与洞顶边坡的稳定性是制约公路建设发展和保障交通安全的重要因素。高速公路浅埋偏压隧道冒顶是公路建设中常见的地质灾害，这
“三会一课”不但是党组织生活最基本的形式之一,同时也是党支部工作开展的基础,发挥着监督管理党员教育工作的重要作用.文章主要是就提高党支部三会一课质量进行了简单的分