新型真空溅射靶材用金基合金的开发与研究

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随着科技的发展,我国金基合金靶材市场也日渐壮大,但由于起步比较晚,起点低,在一些技术环节上与国外差距很大。本论文以高附加值金基合金靶材为研究方向,以合金元素Al、In、Y的添加量对60%Au含量金基合金的影响为主要研究内容,对金基合金的合金成分-组织结构-性能变化之间的相互关系和作用规律进行了的探讨。  采用自行研制的保护性气氛下金基合金熔铸一体化装置制备了Al、In、Y不同添加量的金基合金试样,并对试样的铸造组织、元素分布、物相形成、色度、耐蚀性、显微硬度进行了测试分析,取得了以下成果:  1.通过对金基合金试样进行金相显微组织分析得出,铸造过程施加电磁搅拌、强制冷却以及热顶保温技术可以细化金基合金铸态组织,并有效地消除裂纹、气孔、中心缩孔和疏松等铸造缺陷;  2.通过对金基合金试样进行电子探针和XRD分析,得出新型铸造工艺下的金基合金元素成分更均匀,偏析程度明显降低;  3.色度随着Al、In、Y添加量的增加并无明显的规律;  4.金基合金的耐蚀性随着In、Y添加量的增加而在一定程度上增强,而随着Al添加量的增加,耐蚀性有所降低;  5.不同Al添加量的金基合金硬度在Al含量为2.5%时最大;不同In添加量的金基合金硬度在In添加量为3.0%时达到最大值;不同Y添加量的金基合金硬度随着Y含量的增加而增加。
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