【摘 要】
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本文在全面分析国内外微力传感器研究状况的基础上，针对MEMS微装配对微力传感器的要求，设计了基于PVDF压电薄膜的一维和三维微力传感器结构，建立了传感器的数学模型，并对其进
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本文在全面分析国内外微力传感器研究状况的基础上，针对MEMS微装配对微力传感器的要求，设计了基于PVDF压电薄膜的一维和三维微力传感器结构，建立了传感器的数学模型，并对其进行了有限元分析，研究了压电薄膜的压电机理，根据PVDF压电薄膜的特点，确定了PVDF传感器的制作方法，研制了传感器本体。
针对微力传感器输出信号的特点，设计了基于电荷放大器的处理电路，给出了压电式传感器的等效电路，分析了电荷放大器的原理，在此基础上，选用了UA303信号采集卡进行A/D转换，开发了数据采集处理程序，从而实现了微力传感器的计算机数据采集与处理。
对所研制的微力传感器静态性能进行了测量和分析，给出了包括线性度、重复性、精确度、分辨率等性能指标，计算了三维微力传感器的去耦系数矩阵，并对微力传感器进行了误差分析。
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