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WO3薄膜是一种优良的无机电致变色材料,具有致色电压低、开路延时记忆、无视盲角等优点,在大面积电子纸、布告板、节能建筑等方面应用广泛,在资源、能源日趋短缺的当代社会具有重要的经济意义。本文第一章介绍了WO3薄膜电致变色器件的概念、特性、应用,介绍了WO3的晶体结构、理化性能；综述了WO3薄膜以及电致变色器件的制备方法、研究进展,指出了未来的发展趋势。第二章详细阐述了磁控溅射镀膜技术,介绍了X射线衍射(XRD)、原子力形貌(AFM)、X射线光电子能谱(XPS)、四探针测试仪、台阶仪、分光光度计等表征测试技术。第三章采用直流反应磁控溅射法制备了溅射气压为1.5Pa-3.0Pa的WO3薄膜。测试了在不同气压下制备的薄膜结构、形貌,并进行对比分析。另外,采用射频反应磁控溅射法制备了TiO2对电极薄膜；采用有机聚合反应合成了凝胶态电解质。将不同气压下制备的WO3薄膜封装成固态电致变色器件,通电测试其变色性能。其中,2.0Pa气压制得的WO3薄膜器件性能最优,对可见光的调制幅度达到63.2%。第四章采用直流反应磁控溅射法制备了WO3：N薄膜。测试了不同掺氮量薄膜的结构、表面形貌、成分和价态。同样与TiO2对电极薄膜、有机凝胶态电解质封装成固态电致变色器件,测试了在可见光-近红外区的变色调制性能,指出掺氮量在2.80at.%时全波段调幅达到最佳值68.8%。第五章探讨了单基片式电致变色器件。制备了光电性能较好、可作为器件外层透明电极的ZAO(ZnO:A1)薄膜；将UPON单层、LLTO单层薄膜电解质分别应用于单基片式电致变色器件,通直流电(3V)测试变色效果,并进行分析评估。第六章对全文进行了总结,分析本文工作存在的不足；对WO3薄膜电致变色器件的未来研究方向给予展望。