【摘 要】
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该课题考察了不同的操作条件(放电电流,电压)对阴极溅射坑的形状的影响.校正了不同基体样品之间的溅射率,建立了辉光光谱法深度轮廓分析的标准工作曲线.同时,该文以自制的不
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该课题考察了不同的操作条件(放电电流,电压)对阴极溅射坑的形状的影响.校正了不同基体样品之间的溅射率,建立了辉光光谱法深度轮廓分析的标准工作曲线.同时,该文以自制的不同含量范围的Galfan型锌铝合金镀层钢板为研究对象,通过辉光光谱法深度轮廓分析,详细研究了锌铝合金镀层的深度分布与工艺条件、镀层的化学性能之间的关系.通过对实验的研究总结,进行了估算密度与实测密度的误差分析;制作了通过深度-密度法与质量差法分别校正溅射率得到的标准曲线;得到了锌铝合金镀层的合金层厚度与工艺条件、化学性能之间的关系.该课题的研究,促进了辉光光谱法深度分析的应用,提出了用辉光光谱的新方法来研究锌铝合金镀层结构,性能与工艺条件之间的相互关系,真实的提供了锌铝合金镀层的深度分布信息,对于提高镀层性能,改进镀层新工艺具有重要的指导意义.
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