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【摘 要】
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本论文主要研究近等原子比TiNi合金薄膜的制备工艺以及TiNi合金薄膜在动态加热、冷却过程所发生的相变,揭示了TiNi合金薄膜从奥氏体到马氏体的演变过程。论文主要通过自制TiNi合金靶材,并运用磁控溅射法来制备TiNi合金薄膜,而且对薄膜进行晶化处理,并在X射线衍射、透射电子显微镜、扫描电子显微镜等现代分析手段观察TiNi合金的组织及表面形貌,最后再通过动态加热、冷却来观察TiNi合金薄膜中的相变
【机 构】
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西安理工大学
【发表日期】
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2006年03期
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