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大口径熔石英元件在以激光核聚变系统为代表的强光光学系统中有着广泛运用,如何高效无损地加工熔石英元件是目前光学加工面临的难题。大气等离子体加工技术是一种高效加工含硅光学材料的方法。作为一种化学加工方式,等离子体加工不会有损伤生成,还能有效去除机械加工后残留的亚表面损伤。基于此,本文将大气等离子体加工技术引入到大口径熔石英元件的工艺流程中,并对此展开深入研究,主要的内容及成果如下:(1)研究了大气等离子体加工原理,包括电感耦合大气等离子体激发原理以及等离子体加工硅基材料去除原理;根据加工目标需求设计了新