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近年来，随着无线通信行业的快速发展，诸如通信卫星、LTE通信设备、光纤通信设备等，对于微波电路在不同频率下的设计和工作都提出了更高的要求。可调介质薄膜材料作为可调微波器件的重要组成部分越来越受到人们的关注。而对材料性能的了解对于制备低损耗、高调谐率的可调器件是非常重要的。由于材料性质一般和频率相关，特别是在射频和微波频段时，材料的低频性能如介电损耗等很难代表材料高频时的真实性能。而且，高频时电极的寄生效应和相关外围电路都会对测试结果产生较大的影响。因此，找到一种行之有效的对于可调介质薄膜的准确测试方法是关键。本论文以钛酸锶钡（BaxSr1-xTiO3）铁电薄膜为材料制备了高性能的变容管，并提出了可行的高频测试方案，同时研究了变容管结构对于其性能的影响，主要研究结果如下：（1）通过电子束蒸发、射频磁控溅射系统和微细加工技术制备了BST铁电薄膜变容管。（2）系统阐述了不同结构的平行板电容器的测试方法，包括同心圆结构，单端口GSG结构和双端口GSG结构。比较了各个测试方案的优缺点。（3）研究了电极厚度和不同电容尺寸对于器件的电容和Q值的影响。电极厚度方面，随着电极厚度的增加，高频时器件的Q值会有一个明显的改善。有效电容面积方面，低频和高频时都存在着不同程度的尺寸效应。低频时，随着电容面积增大，电容密度减小，Q值增大；高频时，随着电容面积增大，电容密度减小，Q值减小。对于相同面积不同形状的变容管来说，高频时电容密度存在着尺寸效应，周长越长的有效电容形状有着更大的电容密度，而Q值不受尺寸效应的影响，基本相同。