【摘 要】
：
近年来,极紫外（Extreme ultraviolet-EUV）光刻技术飞速发展,其关键问题——无缺陷掩模的制造备受关注。由于现有工艺水平无法实现无缺陷掩模的制造这项重要技术,因此,人们通过缺陷检测和修复技术来避免因掩模缺陷导致器件失效的情况发生。在众多的检测方法中,在波长（At wavelength）EUV光刻掩模白板暗场成像检测方法具有分辨率高、检测准确率高和灵敏度高等优点,引起研究人员的广泛
论文部分内容阅读
近年来,极紫外（Extreme ultraviolet-EUV）光刻技术飞速发展,其关键问题——无缺陷掩模的制造备受关注。由于现有工艺水平无法实现无缺陷掩模的制造这项重要技术,因此,人们通过缺陷检测和修复技术来避免因掩模缺陷导致器件失效的情况发生。在众多的检测方法中,在波长（At wavelength）EUV光刻掩模白板暗场成像检测方法具有分辨率高、检测准确率高和灵敏度高等优点,引起研究人员的广泛关注。本文围绕着这一典型在波长EUV光刻掩模白板检测系统中的关键技术之一——Schwarzschild光学暗场成像系统的优化设计开展了如下研究:1.首先对数值孔径（Numerical aperture-NA）为0.2、视场为0.5 mm×0.5 mm、放大倍率为26的球面Schwarzschild光学成像系统进行优化设计;在此基础上,增加可移动的平面镜和离轴球面镜,实现放大倍率为1200、中心视场良好成像的高倍放大系统的优化设计;然后利用时域有限差分法对不同类型缺陷的散射光强与掩模白板偏转角度的关系进行了研究,通过对比振幅缺陷及相位缺陷的散射光强与掩模白板偏转角度的关系,可以区分振幅缺陷和相位缺陷,从而实现了集检测、高倍放大和缺陷识别等功能于一体的EUV光刻掩模白板检测系统的优化设计;2.为了提高球面Schwarzschild系统的分辨率,采用多层膜反射镜反演最佳裸镜的方法,对NA为0.5的非球面Schwarzschild系统进行了优化设计。首先分析不同膜系结构Mo/Si多层膜对系统成像质量的影响,经过比较,发现四层模型多层膜应用于系统设计是必要的。在此基础上,将传统光学设计中的反射镜视为多层膜与裸镜面形共同作用的结果,基于多层膜等效工作界面模型,可以实现由多层膜反射镜反演最佳裸镜,从而实现了考虑多层膜的非球面Schwarzschild系统的优化设计;3.在非球面Schwarzschild系统中,利用有限元分析法分析了Mo/Si多层膜残余应力对反射镜面形的影响,并通过系统光学设计进一步量化了多层膜残余应力对系统成像质量的影响。发现仅通过优化物像距无法补偿多层膜残余应力向系统引入的球差,而令基底镀膜口径大于有效工作口径,通过优化物像距就可以很好的补偿引入的高阶球差,从而实现了非球面Schwarzschild系统考虑多层膜残余应力的优化设计。上述研究工作为解决EUV光刻掩模白板检测系统优化设计过程中所面临的若干实际问题提供了理论依据,为进一步实现完整光学系统的优化设计奠定了基础。
其他文献
随着各行各业的快速发展，煤矿多通过井工方式开采，多是长壁式开采。长壁式开采不但煤炭资源回采率较高，而且具有较高的效率。在长壁式开采中，皮带运输机是一种重要的煤炭运输设备。与机车运输相比，皮带运输机运输量大且可以持续运输，是一种经济的煤炭运输设备。目前，几乎所有井工煤矿在煤炭运输时都采用了皮带运输机。然而，由于煤矿井下环境恶劣，粉尘高、空间狭小、任务量重，煤矿皮带运输机会发生各种故障。皮带运输机发生故障后会影响工作面出煤量。若不能及时修好皮带机，则很可能导致工作面停产。因此，需要针对皮带运输机出现的故障进行
文章主要是分析了再制造研究的目的和意义，在此基础上讲解了再制造流程及关键技术，最后探讨了再制造技术的应用情况。通过综合评估，探索再制造行业的发展特征和行业发展前景。望可以为有关人员提供参考和帮助。
冲击波的产生一般出现在爆炸中,压强远高于标准大气压,具有强烈的破坏作用甚至危及人的生命。因此对于冲击波的屏蔽研究在工程和国防方面具有重要意义。迄今为止,研究人员对激光等离子体冲击波的膨胀动力学特性和等离子体屏蔽冲击波的物理过程开展了广泛的研究,然而,由于等离子体屏蔽冲击波的过程十分复杂。于是本文搭建了实验所需的装置对冲击波传播特性展开了探讨并得到了激光等离子体屏蔽冲击波的物理机制。于是本文搭建了实
人参是一种重要的重要，其具备较强的医用价值与商业价值，人参中富含丰富的皂苷物质，其具备良好的抗衰老和细胞修复作用。就目前情况而言，对人参根须的研究颇多，但据笔者调查研究显示，人参花蕾比人参根须更具有研究价值，这是由于人参花蕾中富含丰富的皂苷，而皂苷则是人参中最具药用价值及商业价值的元素，其具备良好的清楚羟基自由基的功能，将其应用于养发、护发的产品研究中，可达到防脱发的目的，这对于提升产品的使用功能是尤为重要的。基于此，本文开展了对人参花蕾提取液清除羟基自由基作用研究，期望对相关人员有所启示。“,”gins
随着国家实力的进步，对资源的需求总量随之提升，在使用的所有资源中，最为关键的便是矿产。国家科技实力的提升，让矿场开采技术得到了进步，现代化采矿工艺在一定程度上改善了当前工作的情况，但是在现实操作的过程中，经常会发生问题，为此便需要对其的使用进行细致探究。基于此，本文重点分析了在代化采矿工艺技术的运用要素，同时对其在采矿工作中的使用进行了细致阐述，供参考。
随着我国科学技术的不断发展，在煤矿开采过程中电气自动化技术发挥着越来越重要的作用，有效提高了矿山开采效率，增强了矿山开采的安全性。在此基础上，本文将简要介绍电气自动化技术在矿山开采中的应用优势，探讨矿山自动化技术的具体应用，为我国采矿业的发展做出贡献。
带式输送机是实现矿井煤炭、矸石等远距离、高效运输的设备，对带式输送机运行监测和对提升设备运行可靠性、安全保障能力具有重要意义。传统的传感器监控方式虽然可实现带式输送机运行监测，但是存在监测精度不高、系统结构复杂以及传感器故障率高等问题。为此，文中提出综合使用弱磁检测技术、红外热成像技术、机器视觉技术等对带式输送机运行状态进行智能监控，并对该智能监控系统关键子系统结构进行阐述。所提智能监控系统结构简单、功能丰富，可在一定程度上提升矿井带式输送机运行保障能力。
本文对井下顶板支护的主要形式进行研究，主要为可缩性支架、矿用支护型钢、预留柱支护等形式。然后对井下顶板支护相关影响因素加以刍议，发现井下顶板支护作业易于受到井下地质环境因素、施工工艺因素所影响。最后，对井下顶板支护技术的应用情况深入探讨，通过使用该项技术能提高支架的强度、巷道顶板承载能力，合理应用设备、对施工质量加以监管，从而充分发挥出井下顶板支护技术的最大作用。“,”In this paper, the main forms of underground roof support are studied
本文采用理论分析和实验研究相结合的方法,基于飞秒激光等离子体丝诱导击穿光谱技术（femtosecond filament induced breakdown spectroscopy,FIBS）对铝合金样品中的Mn元素进行定量分析并分类识别铝合金样品,研究在等离子体丝不同位置的定量分析规律和分类能力,证明FIBS在微量元素定量分析和铝合金分类方面的优势,本文的研究结果对实现工业现场的铝合金快速检测
随着我国经济水平的不断提升，也提高了群众的生活质量，对于水质的需求也越来越严格，为了能够满足群众的用水需求，必须要提升对于水质检测的重视，才能够提升水资源的利用率，为群众的生产生活提供可靠的保障。在水质检测的过程中，为了提升检测过程以及结果的准确性与稳定性，应合理运用水质检测的工具，改变传统的检测方式，确保检测质量能够符合相关标准，从而为维户社会稳定提供良好的基础条件。