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本文对扫描力显微镜的平面摩擦法标定横向力进行了分析。本研究提出了一种对原子力显微镜进行横向力测量标定的方法——平面摩擦法。该方法通过在纳米尺度平整表面上，进行平行和垂直针尖悬臂两个方向的扫描测量，从而得到横向力与测量信号间的关系，最终标定原子力显微镜所测得横向力的大小。研究给出了在摩擦过程中的受力和形变相关理论的分析推导，得到了横向力大小的计算公式。