【摘 要】
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随着半导体行业的发展,晶圆片测试成为集成电路生产制造的一道重要的工序,准确的测试能提高产品的质量,减少不必要的损耗。测试的方法多种多样,探针测试是其中最主要的方法,
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随着半导体行业的发展,晶圆片测试成为集成电路生产制造的一道重要的工序,准确的测试能提高产品的质量,减少不必要的损耗。测试的方法多种多样,探针测试是其中最主要的方法,所以探针测试系统成为现代工业控制中一个独立的研究领域。人们对探针台的研究已有二十年的历史,在这段时间里,探针台经历了由手动到全自动的发展历程,现在国际上已经重点研究全自动探针台。国内对探针台的研究起步较晚,在全自动领域尚未有完善的发展,主要体现在对视觉系统,温控系统和全反馈系统的研究不够。本文首先研究了探针系统技术和视觉处理技术的发展现状,详细研究国内已有的全自动探针测试系统,包括其硬件结构和软件结构,分析其不足之处。接着利用机器视觉理论,重点研究模板匹配,边缘检测,图像连通性分析等图像处理算法,结合现有探针台的结构,在全自动探针测试台上实现视觉定位与检测的功能,包括:晶圆中心自检,晶圆测试芯粒定位,晶圆片自动扫直,芯粒墨点识别,以及自动对针项目,这几项功能都是国内探针系统较薄弱的环节,然后对各项目做试验分析。试验证明,本课题所应用的方法在精度和速度上都能较好地满足探针台上的测试要求,最终大大提高了探针测试台的自动化水平。
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