【摘 要】
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该文在系统分析硅的两电极、三电极和四电极自停止腐蚀系统的电化学腐蚀原理的基础上,设计并制作了电化学腐蚀机.根据电化学自停止腐蚀原理研制的电化学腐蚀机,可实现对MEMS
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该文在系统分析硅的两电极、三电极和四电极自停止腐蚀系统的电化学腐蚀原理的基础上,设计并制作了电化学腐蚀机.根据电化学自停止腐蚀原理研制的电化学腐蚀机,可实现对MEMS加工工艺之一的电化学腐蚀工艺的智能化控制,并具有多种腐蚀方式,从而代替过去仅具有单一模式的、简易的腐蚀系统.整个腐蚀系统采用单片机进行控制.腐蚀机分为软件和硬件两个部分,软件部分包括监控主程序、初始化模块、显示模块、中断模块、时钟模块、测量控制程序.硬件部分包括腐蚀装置、采样、控制、执行和人机接口部分.腐蚀装置包括腐蚀腔、腐蚀槽和腐蚀电极等.实验结果表明,腐蚀机的硬件和软件运行良好.温度控制有很好的精度、稳定性和适时性;腐蚀自停算法能监控腐蚀的自停.
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