应用于MEMS通讯继电器的双稳态微电磁驱动器的研究

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继电器是一种常用的基本机电元件,在航空航天领域、计算机、通讯等领域中起着十分重要的作用。通讯继电器是继电器主要应用方向之一,其产值大约占整个继电器产业的四分之一,并且是继电器产品中技术含量和附加值较高的一部分。本文设计了一种应用于微型化通讯继电器的双稳态电磁驱动器,主要由平面线圈、镍弹性平台和中央硅垫片三部分组成。使用双层铜线圈与中央铁芯磁化的方法来增强电磁作用力;采用聚酰亚胺作为绝缘层;采用永磁体实现器件的双稳机制。采用基本磁路原理初步分析了本文所设计的电磁驱动MEMS平面线圈微驱
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