【摘 要】
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机电系统建模和动态仿真分析是光刻机设计过程中确保整机系统稳定性和高精度的关键步骤。已有相关建模仿真软件对于复杂光刻机机电系统设计开发流程支撑不足,没有融入多领域
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机电系统建模和动态仿真分析是光刻机设计过程中确保整机系统稳定性和高精度的关键步骤。已有相关建模仿真软件对于复杂光刻机机电系统设计开发流程支撑不足,没有融入多领域的设计知识,亟需开发一款针对性强的光刻机机电系统高效动态仿真软件。本文基于动态设计理念设计与开发一款面向光刻机精密运动平台机电系统设计的软件动态仿真软件。该软件封装集成了光刻机关键组件、系统模型动力学建模和分析方法,能够有机地融入到研发单位的设计规程中,从而辅助设计人员快速实现对光刻机机电系统设计方案的仿真、分析与优化,提高光刻机的开发效率,缩短设计周期。本文主要开展了以下工作:首先,研究了光刻机机电系统设计开发流程,总结了一套动力学驱动的光刻机机电系统设计流程。提出了一种具有可拓展性强,稳定高效等特点的软件开发技术路线。接着设计了软件架构和工作流程,确定了实现参数化建模及动力学分析功能的软件开发关键点。然后,针对光刻机机电系统等关键单元和独立子系统,分析其在光刻机机电系统下的工作动态特性,抽象出参数化建模模板,构建光刻机专业模板库,在模板库的支持下设计软件关键的参数化建模和动力学分析优化功能基于脚本的实现方式。最后,设计开发了自定义模板库和知识库管理软件模块,从软件层面上加强模型收集与重用,有效提高设计效率。在上述工作的基础上,本文根据所设计的软件架构,集成相关的建模、分析软件模块,完成光刻机机电系统动态仿真软件,并以某型光刻机工件台为实例对象,演示软件主要功能,验证软件具有一定的理论意义和较好的工程应用价值。
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