【摘 要】
：
GeSi/Si异质结材料引起人们越来越大的兴趣,其主要原因是由于它在高 速器件及其IC和光电器件及其OEIC两方面广阔的应用前景.人们采用了多种方法制备GeSi/Si异质结材料.超高真
论文部分内容阅读
Ge<,x>Si<,1-x>/Si异质结材料引起人们越来越大的兴趣,其主要原因是由于它在高 速器件及其IC和光电器件及其OEIC两方面广阔的应用前景.人们采用了多种方法制备Ge<,x>Si<,1-x>/Si异质结材料.超高真空化学气相沉积(UHV/CVD)是目前被公认的制备Ge<,x>Si<,1-x>/Si异质结材料的最好方法之一.该文通过对Ge<,x>Si<,1-x>/Si异质结外延生长机理、生长方法、表面反应动力学和气体动力学的分析、研究,首次提出并建立了一个应用于Ge<,x>Si<,1-x>/Si化学气相外延的气体动力学和表面反应动力学统一模型.模型中应用改进试 验粒子法分析了GeH<,4>+SiH<,4>+H<,2>混合气体过渡流态的输运过程,应用表面反应动力 学分析了Ge<,x>Si<,1-x>/Si的Ge和Si的外延生长过程.得到了过渡流态的生长速率、外延 层组分等与初始条件(包括反应气体分子空间分布、空间温度分布、压力、生长室形状和尺寸等)的理论关系.使目前的有关Ge<,x>Si<,1-x>/Si生长的理论工作从"半经验"、"半定 量"向"定量"化前进了一大步.
其他文献
1月18日,枣阳市公安局吴店派出所民警石昌鑫从一起经济纠纷中敏锐挖出一起系列诈骗案.受害人报案后,民警当天破案.“敏锐哥”一天内神速破获6起跨省系列诈骗案.rn当天上午,外
1月7日,洪湖警方通报消息,近日,该局刑侦大队、燕窝、螺山派出所联合作战,各司其责,根据案发现场遗落的矿泉水瓶子,通过DNA比对锁定涉嫌盗窃的嫌疑人,侦破一起盗窃案,现场抓
1rn30岁之前,我跟大多数同龄人没区别.考大学,毕业,找工作,买房,还贷,读研……我像打了鸡血,拼命往前冲.一天加班,登上回家的地铁已是21点.车厢里人不多,我坐在长椅上,昏昏欲
该文则针对水力旋流器能耗大、运行成本高这一工程实际问题,从流体流动规律的研究入手,力图突破传统水力旋流器结构形式限制,从新结构、新流场、新性能等方面进行探索,对水力
情感和情绪在人类生活中起着很重要的作用,是自身生活和社会交往不可缺少的重要组成部分。随着现代科学的发展,对人工智能的要求也越来越高,对情感信息的处理已经成为人工智
该论文分析了涡旋压缩的机源;在动力学分析的基础上,重点讨论了动涡旋盘、曲轴、项壳在涡旋压缩机正常运转时的振特点,建立了振动分析力学模型和数学模型,并进行了适当的求解
我想要的,等等再要rn与“及时满足”对应的概念是“延迟满足”.这个概念来源于一个叫“棉花糖”的实验研究,设计者是美国斯坦福大学心理学教授沃尔特·米歇尔.实验中,十几名
纳米钙磷粒子（nCP）是一种生物相容的生物医学纳米材料，广泛的应用于硬组织修复、药物载体和肿瘤细胞抑制的研究。但是由于nCP在水相中容易团聚，且利用有些分散剂制备的nCP也不具
上一轮牛市已经过去5年了,很多老股民还记得2015年的疯狂,如同火箭一般的疯涨,以及随后如同雪崩一样的下跌.事到如今,人们已经知道那轮暴涨暴跌的原因——是由于一种叫作“场