【摘 要】
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本文针对光的衍射效应严重阻碍微纳结构器件加工和高密度集成问题,开展了关于人工微纳结构衍射行为的研究。利用人工微纳材料对电磁波独特的操控特性,通过对微纳结构的合理设
【出 处】
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中国科学院研究生院 中国科学院大学
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本文针对光的衍射效应严重阻碍微纳结构器件加工和高密度集成问题,开展了关于人工微纳结构衍射行为的研究。利用人工微纳材料对电磁波独特的操控特性,通过对微纳结构的合理设计,有效的削弱衍射效应的影响,甚至实现了超衍射。论文的主要研究内容包括:
1、光子晶体波导结构增强方向性透射研究。通过在光子晶体波导的出射表面设计合理的微纳结构,利用表面波的耦合特性及点缺陷对光的局域及干涉特性,有效削弱光的衍射效应,增强了波导的方向性透射。
2、金属介质膜结构超衍射光刻研究,利用表面等离子体及金属介质膜结构独特的色散关系设计了一种金属介质多层膜结构,倏逝波成分能够在该结构中得到传输和放大,达到超衍射极限的光刻效果。并用FDTD方法分析了掩膜周期和占空比对超分辨光刻效果的影响。
3、根据Superlens超衍射光刻这一重要应用的技术特征,设计并研制了一种用于微纳结构制作的近场超衍射光刻装置,利用该装置采用365nm光刻光源,能够实现50nm线宽的超衍射极限光刻,装置结构简单、成本低廉、使用方便、对促进纳米科技发展、微电子及半导体制造具有一定的实用价值。
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