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军民产业对微电子器件、光学零件的需求促进了超精密加工技术发展,零件功能表面的制造精度逐渐达到了纳米级,对超精密表面测量工具也提出更高的要求。原子力显微镜采用纳米级探针接触样品表面获得表面的微纳米尺度三维形貌信息,且测量时没有真空环境、样品导电的要求,因此应用日益广泛。但是目前测量结果存在假象而不能很好的发挥仪器的高分辨性能,虽然已有较多学者开展提高测量精度的研究,如优化扫描参数,但并未考虑探针针尖的影响。由于扫描参数影响系统控制精度的同时,也会影响针尖的磨损,从而降低原子力显微镜横向分辨率。而针尖磨