【摘 要】
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本文利用准一维圆筒状结构的碳纳米管巨大的比表面积、弹道输运特性以及高场效应迁移率等杰出性质,提出了可用灵敏、高效、便捷的碳纳米管基场效应晶体管气敏传感器来检测室
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本文利用准一维圆筒状结构的碳纳米管巨大的比表面积、弹道输运特性以及高场效应迁移率等杰出性质,提出了可用灵敏、高效、便捷的碳纳米管基场效应晶体管气敏传感器来检测室内空气中的甲醛气体浓度。旨在表明,这种新颖的气敏传感器将会对改善室内空气环境提供极大的帮助。微纳加工MEMS技术及喷雾打印技术的使用,在制备碳纳米管基场效应晶体管气敏传感器中扮演了关键性的角色,并可希望将这些技术应用到气敏传感器的工业化生产中去。最后,我们在建立稳定、精确、可控的气敏传感器测试系统的基础上对制备完成的碳纳米管基场效应晶体管气敏传感器分别进行了电学性能及气敏传感的测试。结果表明,这种微小的传感器对甲醛气体有很好的气敏响应。
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