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该文采用二种脉宽(30ns、500fs)的KrF脉冲准分子激光对脉冲激光烧蚀淀积类金刚石薄膜进行了系统的实验研究,建立和研制了时空分辨和等离子体发射光谱诊断系统和离子探针系统,并且运用这些手段原位诊断薄腊淀积条件下激光等离子体羽特性,着重研究了激光参数和等离子体特性与淀积薄膜的结构和性能的关系,并对脉冲激光烧蚀淀积类金刚石膜的成膜机理进行了较深入的研究.