【摘 要】
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为了提高工业纯铁耐腐蚀性,本论文采用非平衡磁控溅射技术在工业纯铁表面制备不同成分和结构的Cr-N单层膜,Cr/CrN多层膜和Ti/TiN/Cr/CrN多层复合薄膜。采用表面轮廓仪测量薄膜的厚度和残余应力。利用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)表征薄膜的结构和成分。使用维氏显微硬度仪、销盘式摩擦磨损试验机和划痕试验机评价薄膜的硬度、耐磨性和膜基结合强度。采用电化学腐蚀和高温水蒸气循环腐
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为了提高工业纯铁耐腐蚀性,本论文采用非平衡磁控溅射技术在工业纯铁表面制备不同成分和结构的Cr-N单层膜,Cr/CrN多层膜和Ti/TiN/Cr/CrN多层复合薄膜。采用表面轮廓仪测量薄膜的厚度和残余应力。利用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)表征薄膜的结构和成分。使用维氏显微硬度仪、销盘式摩擦磨损试验机和划痕试验机评价薄膜的硬度、耐磨性和膜基结合强度。采用电化学腐蚀和高温水蒸气循环腐蚀检测材料的耐腐蚀性能。依据电化学腐蚀中的极化曲线,选取合适的范围,用电量法计算薄膜的孔隙率。获得的主要
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