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先进X射线光源(同步辐射/X射线自由电子激光)由于能研究物质的原子、分子结构,成为材料科学、生命科学、环境科学、物理学、化学、医药学、地质学等学科领域的基础和应用研究的一种最先进的、不可替代的工具。我国先进X射线光源陆续启动建设,急需大量高精度光学元件。但目前相关元件几乎全部依赖进口,这已成为我国先进X射线光源这类大科学装置建设“卡脖子”问题。实现X射线镜的自主加工制造对发展先进的X射线光源具有重大意义。在X射线镜这种亚纳米精度的镜面的表面加工中,检测技术起着至关重要的作用。本论文的工作围绕X射线镜的检测技术展开,使用拼接干涉检测的方法对X射线镜进行检测,详细介绍了对X射线镜进行拼接干涉检测的过程和技术难点。其技术难点主要有两个。其一为点云配准算法:由于X射线镜表面特征不明显且不宜在镜面做标记点,传统的点云配准算法已经不适用,而运用高精度的定位装置成本过高,如何实现点云配准是进行高精度拼接的关键问题;另外一个技术难点为误差累积问题:在对X射线镜进行拼接干涉检测的过程中,需要对多个子孔径进行拼接,每次拼接的误差在多次拼接之后会累积,导致检测结果不准确。本文针对拼接过程中的点云配准问题和误差累积问题进行了深入的研究。针对X射线镜的拼接干涉检测中的点云配准问题,本文提出了一种新的一维点云配准算法。该算法首先枚举误差范围内所有的配准情况,然后计算所有情况下重叠区域的残差,最后通过残差的平面度判断最优配准情况。为了证明该算法的可行性,首先通过仿真对该算法的噪声敏感性和检测过程中的位置误差进行了分析,证明了该算法能在随机噪声较小的情况下实现较好的配准效果。然后使用标记点与提出的一维点云配准算法进行对比实验,验证了该算法的可行性。针对拼接过程中的误差累积问题,进行了硬件和算法上的深入研究。在硬件上,为了获取更高精度的拼接角,使用平面镜对X射线镜的拼接角进行标定。搭建相关检测实验平台进行拼接检测实验,并对该实验所需要的平台稳定性进行了评估。在算法上,将基于最小二乘法的全局拼接算法用于X射线镜的拼接检测。全局拼接算法通过直接计算所有子孔径的重叠区域的最小二乘解来避免拼接误差的累积。实验表明,全局拼接算法能有效的解决拼接误差累积问题。最终对平面镜进行拼接干涉检测实验,实现了0.15nm均方根值的高精度的检测重复性。