【摘 要】
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该文提出了一种测量超精表面三维形貌的新方法--极坐标式三维形貌测量方法,这是一种基于激光外差干涉测量技术的非接触测量方法.与传统的直线式三维形貌测量方法相比,具有无
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该文提出了一种测量超精表面三维形貌的新方法--极坐标式三维形貌测量方法,这是一种基于激光外差干涉测量技术的非接触测量方法.与传统的直线式三维形貌测量方法相比,具有无累积误差、操作简单、数据处理方便等优点,测量精度较前者有着很大的提高.为了符合传统的三维形貌表达方式以及人们的直观视觉,该文针对所提出的极坐标式三维形貌测量方法,介绍了两种由极坐标式三维图形转换成直线式三维图形的数学算法,建立了数学模型,并对这两种方法进行了分析对比.该文设计了一种可扩大量程的小数和整数相位测量电路,并编制了三维形貌测量软件,为自动化测量打下了基础.该文针对测量系统中存在的各种误差因素进行了分析.在大量实验的基础上,就三维形貌参数同轮廓仪的测量结果进行了比对,给出了测量结果并绘制了三维形貌图形.结果表明,该文所进行的理论分析和所提出的测量方法是正确的,达到了设计要求.
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