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随着电子行业的不断发展,微蚀刻废液造成的污染越来越严重。近年来,研究人员对微蚀刻废液的处理方法进行了大量研究,其中电化学再生技术逐渐发展起来,这种方法的优点是节能,污染小,成本低,可以使废液再生。所以本课题将研究使用电化学法来再生过硫酸铵微蚀刻废液。本课题使用电化学法来再生过硫酸铵微蚀刻废液,并重新应用于蚀刻生产中。使用阴极材料将废液中的铜离子降低至5 g/L和使用阳极材料将过硫酸铵升高至120 g/L,满足蚀刻要求,其中通过优化电解条件,探索去除铜离子和再生过硫酸铵的电解时间和最高电流效率。考察多