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微摩擦/微粘着测试仪是针对微观条件下摩擦及粘着现象开发的测试装置,能够有效测量微牛至毫牛范围内的摩擦力和粘着力,反映材料间的摩擦和粘着特性,为微机电系统中微摩擦磨损特性研究提供试验手段。本文在先期研制的微摩擦/微粘着测试仪的基础上,针对振动干扰影响较大和步进电机间歇运动等问题,对信号处理、步进电机控制和压电陶瓷控制等问题进行了分析和研究,采用复合滤波、闭环控制和复合加载等方法对测试仪进行改进,进一步提高了仪器的测试精度和稳定性,主要研究工作有：(1)采用铍青铜为材料制作弹性敏感元件,