光学微小波象差标准装置设计与研究

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本文对微小波象差标准装置的光学原理与测量原理进行了介绍,在对国内外同类仪器进行分析与对比的基础上,本着尺寸小,精度高,调整维护方便的原则,进行了微小波象差标准装置主机的开发与设计。采用了立式支架与五维调整机构相结合,实现垂直测量,扩大了测量范围。设计多组标准镜头并实现与主机快速更换。通过实验与分析比较,确定最佳受力方式,最大程度减小了光学元件的变形,提高仪器检测精度。应用可靠性设计理论,对整机的薄弱环节进行分析,建立数学模型与故障树,通过可靠性计算和参数的调整,保证了整机的可靠性。
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