【摘 要】
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等离子体,我们也称为物质的第四态,是由带电的正离子、负离子、电子、自由基和各种活性基团等组成的一个集合,并且等离子体中的正电荷与负电荷电量相等。低温等离子体在物理
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等离子体,我们也称为物质的第四态,是由带电的正离子、负离子、电子、自由基和各种活性基团等组成的一个集合,并且等离子体中的正电荷与负电荷电量相等。低温等离子体在物理和化学处理方面具有较多优点,所以我们在诸多领域都能看到关于它的应用,如等离子体引燃、材料处理、空气净化和薄膜沉积等方面。微波可以传递,透过介质,分解和扩散效率非常高,微波激发能够获得高浓度及高活性的电子、离子、自由基及激发态粒子,工作气体无论是在常压环境还是低压环境都能进行放电。本文将展开介绍常压微波等离子体射流和低气压微波表面波等离子体两种等离子体设备的研究以及等离子体技术在硫化钼复合材料表面处理中的应用,主要工作如下:（1）介绍实验室自行设计搭建的使用2.45GHz微波源的低气压表面波等离子体发生装置的结构和原理,包括其真空系统、气源系统、冷却系统以及诊断系统;（2）设计搭建了一种结构简单、成本低廉,并且能够方便地调节射流的大气压等离子体射流产生装置;（3）使用低气压表面波等离子体设备进行放电测试,经过放电测试后,我们使用表面波等离子体对Mo S2-g-C3N4材料进行等离子体表面改性实验研究,通过改变不同等离子体气体,进行等离子体处理,再通过各种表征分析等离子体处理技术对Mo S2-g-C3N4复合材料表面活性的影响。
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