【摘 要】
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现代微电子技术的飞速发展,深刻地改变着人类社会和人民生活。同时,作为现代电子信息技术核心和基础的集成电路技术,关系到国家的经济安全和国防安全。目前,微电子技术的发展
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现代微电子技术的飞速发展,深刻地改变着人类社会和人民生活。同时,作为现代电子信息技术核心和基础的集成电路技术,关系到国家的经济安全和国防安全。目前,微电子技术的发展方向主要是基于IP重用的SoC技术及MEMS技术。作为一门新兴技术,微机电系统(MEMS)技术将微电子技术和精密机械加工技术融合在一起,实现了微电子与机械的一体化,成为微电子技术新的增长点。
IC与MEMS技术相结合是未来发展的大趋势,它可以融合MEMS与IC器件的功能,实现芯片的多功能性。在MEMS/IC协同发展的大趋势下,越来越多的MEMS器件会被应用于IC设计,因此,如何把MEMS模块嵌入到IC设计环境之中实现电子系统设计的升级是目前值得探讨并关注的重要课题。由于目前国内尚没有能够满足实际需求的MEMS/IC设计环境,人们还是采用两组相对独立的设计工具来开展MEMS/IC有关的电路系统设计,这极大的限制了MEMS技术和IC设计的协同发展。因此开发集成有MEMS器件的集成电路设计环境成为当前的焦点问题。
本文基于对IC设计环境的理解,主要在SMIC0.13um CMOS工艺基础上,对MEMS/IC电路设计环境开展了研究。
首先介绍了IC设计环境,并通过编写PERL语言脚本来管理设计环境;其次,介绍了MEMS电感及其建模;然后将此MEMS电感器件集成到IC设计环境之中,建立了一套系统的MEMS/IC设计环境;最后,为了迎合SoC设计的需要,在ASMC0.35umHVCMOS PDK基础上,把最基本的IP之一的标准单元库集成进模拟环境中。
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